Bu ekipman, yapıştırıcı uygulamasından önce levhaların ön işleme tabi tutulması için uygundur. Sistem bir hazne, vakum sistemi, ısıtma sistemi, nitrojen temizleme sistemi, sıvı dağıtım sistemi ve kontrol sisteminden oluşur. Çoklu vakum döngüleri ve 150°C sıcak nitrojenle ısıtma yoluyla ekipman, levha yüzeyini etkili bir şekilde kurutup temizleyerek yabancı maddelerin oksidasyonunu ve yayılmasını önler. Sıvı dağıtım sistemi ayrıca levha yüzeyine bir HDMS koruyucu film uygulayabilir ve bu da mükemmel yapışkan uygulama özellikleri sağlar. Bu sistem, manuel HMDS kaplamaya göre iyi tekrarlanabilirlik, azaltılmış kimyasal tüketimi, çevre dostu olması ve insan sağlığı açısından güvenli olması gibi önemli avantajlar sunmaktadır. Diğer proseslerde gofretlerin temizlenmesinde de kullanılabilir. Kontrol sistemi bir PLC kullanır ve insan-makine arayüzü, yüksek güvenilirlik, kullanım kolaylığı ve sezgisel kontrol sunan bir dokunmatik ekran kullanır.
Yarı iletken (çip/entegre devre) üretim süreçlerinde fotolitografi, entegre devre desen aktarımında çok önemli bir adımdır. Fotorezist kaplamanın kalitesi, fotolitografinin kalitesini doğrudan etkiler, bu da kaplama işlemini özellikle önemli kılar. Fotolitografide kullanılan çoğu fotorezist hidrofobiktir, silikon levha yüzeyindeki hidroksil grupları ve artık su molekülleri ise hidrofiliktir. Bu, özellikle pozitif fotorezistlerde, fotorezist ile silikon levha arasında zayıf yapışmaya neden olur. Geliştirme sırasında geliştirici çözeltisi, fotorezist ile silikon levha arasındaki arayüze nüfuz edebilir, fotorezistin soyulması ve yüzmesi gibi olaylara kolayca neden olarak fotolitografik desen aktarımında başarısızlığa yol açabilir. Aynı zamanda, ıslak aşındırma, yanal aşındırmaya eğilimlidir. Bir HMDS ön-muamele sistemi ile ön-muameleden sonra, substrat yüzeyi üzerine siloksan bazlı bir bileşik kaplanmaktadır. Plaka yüzeyi hidrofilikten hidrofobiğe dönüşerek temas açısını azaltır, gereken fotorezist miktarını azaltır ve fotoreziste yapışmayı arttırır. Bu, geliştirme süreci sırasında yanal aşınmayı ve desen kaymasını engeller, fotorezist yapışmasını iyileştirir ve malzemenin zorlu ortamlarda korozyon direncini arttırır, böylece ürün kalitesini önemli ölçüde artırır ve kusur oranını azaltır.
Süreç Amacı:
Ekipman PLC kontrolü kullanılarak tam otomatik olarak çalışır. Süreç, yüzeydeki nemi gidermek için alt tabakanın yüksek sıcaklıkta pişirilmesini, vakumlu kurutma ve nitrojen koruma teknolojisiyle birlikte levha yüzeyinden nemi ve kirletici maddeleri uzaklaştırmayı, oksidasyonu ve yabancı maddelerin yayılmasını önlemeyi ve kaplamadan önce temizliği sağlamayı içerir. Daha sonra HMDS (heksametildisilazan C6H19NSi2) gazı eklenir. Yüksek sıcaklık altında, substrat yüzeyi ve HMDS tamamen reaksiyona girerek esas olarak siloksandan oluşan bir bileşik oluşturur. Bu, substrat yüzeyini hidrofilikten hidrofobiğe değiştirerek hidrofobik grubun fotorezist ile iyi bir şekilde bağlanmasını sağlayarak bir birleştirme maddesi görevi görmesini sağlar.
Süreç Akışı:
İlk olarak vakum pompası çalıştırılarak vakumlamaya başlanır. Haznedeki vakum seviyesi ayarlanan değere ulaştığında (bu değer vakum ölçerdeki P2 değeri değiştirilerek ayarlanabilir, vakum ölçer kılavuzuna bakın), nitrojen verilir. Ayarlanan vakum seviyesine ulaşıldıktan sonra (bu değer vakum ölçerdeki P1 değeri değiştirilerek ayarlanabilir) vakumlama ve nitrojen verme işlemi tekrarlanır. Belirlenen nitrojen giriş sayısına ulaşıldıktan sonra vakumlama tekrar başlar ve ardından kimyasal çözelti eklenir. Belirlenen sürenin sonunda kimyasal solüsyonun verilmesi durdurulur ve bekletme aşaması başlar. Ayarlanan bekletme süresinden sonra, belirlenen sayıda döngü için vakumlama ve nitrojen uygulaması yeniden başlar. Sistem işlemi otomatik olarak tamamladığında, sesli ve görsel alarm verilerek gofretlerin çıkarılmaya hazır olduğu bildirilir.
① Dış Kabuk Malzemesi: CNC işleme ile hassas bir şekilde şekillendirilmiş, seçilmiş yüksek kaliteli soğuk haddelenmiş çelik plakadan (Q235) yapılmıştır. Yüzey fosfatlama ve anti-statik toz kaplama ile işlenerek sağlam bir kabuk oluşturulur. Anti-statik, korozyona dayanıklı ve çizilmeye karşı dayanıklıdır, kalıcı kalite sağlar;
② İç Hazne: İç hazne, malzeme sertifikasına sahip (malzeme raporu mevcuttur), korozyona dayanıklı ve temizlenmesi kolay 304 fırçalanmış paslanmaz çelikten yapılmıştır;
③ Kontrol Paneli: Sıcaklık ve zaman gibi temel parametreleri gerçek zamanlı olarak görüntüleyen ileri teknoloji renkli dokunmatik ekran denetleyicisi. Akıllı arıza ve alarm bilgisi istemleri net ve sezgisel kontrol sağlar;
④ Gözlem Penceresi: 8 mm dış ve 20 mm iç çift katmanlı temperli cam kullanan, yüksek sıcaklığa dayanıklı ve son derece şeffaf panoramik geniş açılı gözlem penceresi, odanın tüm iç kısmını gerçek zamanlı olarak net bir şekilde görüntüleyerek deneysel durumu bir bakışta netleştirir;
⑤ Raflar: Standart krom kaplamalı, korozyona dayanıklı örgü raflar; çeşitli deneysel ihtiyaçlara esnek uyum sağlamak için çeşitli malzeme ve yapılarda da mevcuttur;
⑥ Yalıtım Katmanı: Dış kabuk ile çalışma odası arasındaki boşluk, üstün ısı yalıtımı sağlayan, ısı kaybını büyük ölçüde azaltan, sabit sıcaklık stabilitesi ve yüksek enerji verimliliği sağlayan 80 mm kalınlığında yüksek saflıkta seramik elyaf pamuk (Al₂O₃) ile doldurulur;
⑦ Sızdırmazlık Şeridi: Çevresel dışbükey çizgi yapısına ve benzersiz aktif vakum kırma sızdırmazlık teknolojisine sahip, özel kalıplanmış silikon kauçuk sızdırmazlık halkası ile donatılmıştır. Basınç tahliyesi sırasında anında bir kanal oluşturarak vakum kırma verimliliğini büyük ölçüde artırır ve basınç tahliyesinden sonra kapının kolayca açılabilmesini sağlar;
⑧ Isıtma Borusu: Özel yapım ultra uzun ömürlü SUS304 paslanmaz çelik ısıtma borusu, isteğe bağlı raf/çevreleyen ısıtma yapısına sahip, prosese tam olarak uyarlanmış, düzgün ve verimli ısıtma sağlıyor;
⑨ Giriş/Çıkış Valfleri: Tamamı bakır vakum valfleri, kullanımı kolay ve hassastır ve güvenilir sızdırmazlık sağlar;
① Bu sistem, önceden ayarlanmış parametrelere göre programlanmış sabit sıcaklık, yüksek vakum ve inert gaz temizleme döngülerini otomatik olarak yürütür; sıvı enjeksiyonunun ve basınç bakımının zamanlamasını hassas bir şekilde kontrol eder; işlem tamamlandıktan sonra sesli ve görsel sinyaller verir.
② Renkli Dokunmatik Ekran: Standart renkli ekran ve dokunmatik kontrol ile donatılmış olup, ayarlanan sıcaklık, çalışma sıcaklığı, sabit sıcaklık süresi gibi parametreler ve arıza bilgileri tek bir ekranda görüntülenir; tepki hızı ve sıcaklık aşımının bastırılması gibi işlevlerle PID parametrelerinin dinamik ayarlanması;
③ Aşırı sıcaklık sapması koruması, aşırı hız koruması ve dokunmatik ekranlı bir mikrobilgisayar P.I.D sıcaklık kontrol cihazı kullanır ve bir zamanlama işlevi içerir;
④ Çoklu zamanlama modları: 1. Zamanlama birimleri dakika ve saat arasında serbestçe değiştirilebilir; 2. İki zamanlama modu: açılıştan itibaren zamanlama ve sabit sıcaklığa ulaştıktan sonra zamanlama;
⑤ Kararlı ve güvenilir olan yüksek hassasiyetli dirençli silikon vakum sensörü ile donatılmıştır ve oda içindeki vakum derecesini gerçek zamanlı olarak algılayarak doğru veri desteği sağlar ve hassas işlemler için garanti sağlar;
⑥ Kararlı veri işleme yeteneklerine sahip yükseltilmiş ses ve ışık alarmı çevresel tarama mikrobilgisayar çipi;
⑦ Özellikler arasında aşırı sıcaklık alarmı, aşırı sıcaklıkta ısıtmanın kesilmesi, zamanlı kapatma, açılışta kurtarma, parametre belleği, sıcaklık düzeltme ve kendi kendini ayarlama yer alır;
⑧ Elektrik kesintisi kurtarma işlevi: Harici güç kaynağı aniden kaybolursa ve daha sonra geri yüklenirse, ekipman orijinal ayarlanan programa göre otomatik olarak çalışmaya devam edebilir;
⑨ Otomatik ayarlama: Ortam sıcaklığındaki değişiklikler nedeniyle sıcaklık kontrolü doğruluğu hatalı olduğunda, sıcaklığı daha hassas hale getirmek için otomatik ayarlama yapılabilir;
⑩ Çoklu modlar serbestçe değiştirilebilir: sabit değer modu/zamanlama modu geçişi.
| Modeli | DEP-HMDS50 | DEP-HMDS50 | DEP-HMDS150 |
| Kontrol Sistemi | PLC Endüstriyel Bilgisayar | ||
| İnsan-Bilgisayar Etkileşimi | 7 inç renkli dokunmatik ekran denetleyicisi | ||
| Sıcaklık Sensörü | PT100 Platin RTD | ||
| Sıcaklık Aralığı | RT 10~200°C | ||
| Sıcaklık Çözünürlüğü | 0,1°C | ||
| Sıcaklık Dalgalanması | ≤±0,5°C | ||
| Zamanlayıcı Aralığı | 0~9999 dk | ||
| Program grubu | 100 grup / grup başına 100 segment | ||
| Veri Güvenliği | Seviye 3 erişim kontrolü, denetim takibi | ||
| Akıllı Güvenlik | Açılışta kendi kendine test, aşırı sıcaklık alarmı ve ısıtmanın kesilmesi, sıcaklık sensörü sapma düzeltmesi, ekran kilidi. | ||
| Zamanlama Yönü | Geri sayım/geri sayım | ||
| Zamanlama Birimi | Dakika/Saat | ||
| Vakum Ölçer | Dirençli silikon vakum ölçer | ||
| Üstün Vakum | ≤100Pa | ||
| Pompalama Hızı | 2L/S | ||
| Güç Kaynağı Gerilimi | AC220V/50Hz | 220V/18A | 220V/18A |
| Nominal Güç | 2KW | 3KW | 3.2KW |
| İç Boyutlar | 410x370x345mm | 450x450x450mm | 500x500x600mm |
| Dış Boyutlar | 610x525x1285mm | 660x590x1470mm | 670x650x1630mm |
| Hacim | 52L | 91L | 150L |
| Standart Raflar | 2 | 2 | 3 |
| Brüt/Net ağırlık | 152/138kg | 185/165kg | 235/205KG |
| Hayır. | İsim | Parametreler | Referans Fotoğrafı |
| 1 | Kaydırma Vakum Pompası | ① Yağsız pompa | |
| 2 | Yağ Buharı Filtresi | ① Vakum pompasındaki yağ buharını filtreler |  |
Ünlü işletmelerin sağladığı ürünler, kullanıcılar tarafından derinden güvenilmektedir.
Shanghai Dengsheng Instrument Manufacturing Co., Ltd. Ar-Ge, üretim, satış ve hizmeti entegre eden yüksek teknoloji ürünü bir kuruluştur. Fırınlar, kuluçka makineleri, endüstriyel fırınlar ve çevresel test odaları dahil olmak üzere üst düzey laboratuvar ekipmanlarının üretiminde uzmanız.
As ve We, 8.000 metrekarelik modern üretim tesisi, özel Ar-Ge ekibi, 23 ulusal patent ve ISO-9001 kalite yönetim sistemi sertifikasına sahiptir. Çözümlerimiz havacılık, yarı iletkenler, biyotıp, otomotiv ve yeni malzemeler gibi ileri teknoloji alanlarında yaygın olarak kullanılmaktadır. En iyi üniversiteler ve endüstri liderleriyle derinlemesine ortaklıklar kurduk, ürünlerimizin dünya çapında birçok ülkeye ve bölgeye ihraç edilmesini sağlıyoruz.
"Dürüstlük, Yenilik ve Kazan-Kazan" ilkelerine bağlı kalarak, güvenilir kalite ve özel hizmetle güvenilir ortağınız olmaya kararlıyız.
Profesyonel ekipman çözümleri sunarak hem yeni hem de mevcut müşterilerden gelen soruları ve işbirliğini memnuniyetle karşılıyoruz.
2026/03/09
2026/03/02
2026/02/24
Başa Dön
